精密和超精密研磨與一般研磨有所不同。一般研磨會產生裂紋、磨粒嵌入、麻坑、附著物等缺陷，而精密和超精密研磨是一種原子、分子加工單位的加工方法，可以使這些缺陷達到最小程度。其加工機理主要為磨粒的擠壓使被加工表面產生塑性變形以及化學作用時，工件表面生成的氧化膜被反復去除。
(一) 油石研磨
油石研磨的機理是微切削作用。由加工壓力來控制微切削作用的微弱，壓力增加，參加微切削作用的磨粒數增多，效率提高，但壓力太大會使被加工表面產生劃痕和微裂紋。油石與被加工表面之間還可以加上拋光液，加工效果更好。
油石研磨采用各種不同結構的油石，主要有下列三種。
(1) 氨基甲酸酯油石。利用低發泡氨基甲酸乙酯和磨料混合制成的油石。
(2) 金剛石電鑄油石。利用電鑄技術使金剛石磨粒的切刃位于同一切削面上，使磨粒具有等高性，平整而又均勻，從而可以獲得極細的表面粗糙度加工表面。金剛石電鑄油石的制作過程如下圖所示。電鑄油石的鑄磨是一塊有極細表面粗糙度的平板，經過電鑄、剝離、反電鍍和粘結等工序，即成電鍍油石。反電鍍的作用是使金剛石工作刃外露。油石可根據要求做成各種形狀。
金剛石電鑄油石的制作過程
(3) 金剛石粉末冶金油石。將金剛石或立方氮化硼等微粉與鑄鐵粉粉混合起來，用粉末冶金的方法燒結成塊。燒結塊為雙層結構，只在表層1.5mm厚度內含有磨料。這種油石研磨精度高，表面質量好，效率高。
(二) 磁性研磨
工件放在兩磁極之間，工件和磁極間放入含鐵的剛玉等磁性磨料，在磁場的作用下，磁性材料沿磁感線方向整齊排列，如同刷子一般對被加工表面施加壓力，并保持加工間隙。研磨壓力的大小隨磁場中磁通密度及磁性材料填充量的增大而增大，可以調節。研磨時，工件一面旋轉，一面沿軸線方向振動，使磁性材料和被加工表面之間產生相對運動。此種方法可用來加工軸類工件的內外表面，也可用來去毛刺。由于磁性研磨是柔性的，加工間隙有幾毫米，因此可以研磨形狀復雜的規則工件。研性研磨的加工精度達1μm，表面粗糙度可達Ra0.01μm。對于鈦合金有較好的效果。磁性研磨的原理如下圖所示。
磨性研磨原理
1—工件；2—磁極；3—磁性磨料
(三) 滾動研磨
把需要研磨的工件型腔作為鑄型，將磨料作為填料加在塑料中澆注而成為研具。研磨時，工件帶動研具振動、旋轉或擺動，從而使研具和工件型腔間產生相對運動。也可以在研具和被加工型腔表面之間加入游離磨料，或能起化學作用、電解作用的液體，這樣能加快研磨過程和提高研磨質量。滾動研磨主要用來加工復雜型腔。
(四) 電解研磨
電解研磨是電解和研磨的符合加工。研具既起研磨作用，又是電解加工的陰極，工件接陽極，用硝酸鈉水溶液為主配制成的電解液通過研具的出口流經工件表面，在工件表面生成陽極鈍化薄膜并被磨料刮除。在這種機械和化學的反復雙重作用下，獲得極細的表面粗糙度，并提高了加工效率。
除電解研磨外，尚有機械化學研磨、超聲研磨等符合研磨方法。機械化學研磨，是在研磨的機械作用下，加上研磨劑中的活性化學物質的化學反應，從而提高了研磨的質量和效率。超聲研磨是在研磨中使用研具附加超聲振動，從而提高效率，適宜難加工材料的研磨。
